高密度鐵電隨機(jī)存取存儲(chǔ)器FRAM批量生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展
來源: 日期:2021-03-24 10:33:09
從1990年代開始流行的智能卡和移動(dòng)設(shè)備就需要很長時(shí)間來存儲(chǔ)數(shù)據(jù),即使關(guān)閉電源(非易失性),也可以存儲(chǔ)數(shù)據(jù),在低功率下高速運(yùn)行,并具有較高的寫擦除周期耐力。鐵電隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(
FRAM)滿足了這些要求,但是在日本和美國嘗試使用常規(guī)半導(dǎo)體工藝制造該存儲(chǔ)器的嘗試直到2000年代初都未必成功。
在常規(guī)半導(dǎo)體工藝期間產(chǎn)生的氫氣,該反應(yīng)導(dǎo)致鐵電性能下降。富士通團(tuán)隊(duì)開發(fā)了H2阻擋膜來防止氧化鐵電材料的還原。這有助于在1999年成功地開始FRAM的批量生產(chǎn)。為了實(shí)現(xiàn)高密度和低壓可操作FRAM,他們改進(jìn)了鐵電電容器,實(shí)現(xiàn)了1.8V工作電壓和4 Mb FRAM。與傳統(tǒng)的FLASH存儲(chǔ)器相比,他們開發(fā)的FRAM具有出色的電子性能。它的寫入/擦除速度提高了1000萬倍,耐用性提高了1億倍,功耗降低了400倍。
因此FRAM不僅用于智能卡和移動(dòng)設(shè)備中,而且還用于配備有大容量內(nèi)存,身份驗(yàn)證設(shè)備和備用電池的射頻識(shí)別(RFID)標(biāo)簽中,以用于備用電池的靜態(tài)RAM(
SRAM)。由于已證明FRAM被證明比FLASH存儲(chǔ)器具有更高的抗輻射能力,因此FRAM有望應(yīng)用于附著在需要通過放射線滅菌的醫(yī)療設(shè)備上的RFID標(biāo)簽。
盡管FRAM已經(jīng)成為用于安全社交網(wǎng)絡(luò)的基本內(nèi)存支持信息技術(shù)(IT),但FRAM的最重要挑戰(zhàn)之一是“擴(kuò)展”或減小單元區(qū)域。該團(tuán)隊(duì)已經(jīng)開發(fā)出了下一代FRAM,其單元面積比當(dāng)前商業(yè)化的FRAM小得多。這項(xiàng)技術(shù)將大大降低FRAM的制造成本,并顯著提高FRAM市場的增長。
盡管FRAM已經(jīng)成為用于安全社交網(wǎng)絡(luò)的基本內(nèi)存支持信息技術(shù)(IT),但FRAM的最重要挑戰(zhàn)之一是“擴(kuò)展”或減小單元區(qū)域。該團(tuán)隊(duì)已經(jīng)開發(fā)出了下一代FRAM,其單元面積比當(dāng)前商業(yè)化的FRAM小得多。這項(xiàng)技術(shù)將大大降低FRAM的制造成本,并顯著提高FRAM市場的增長。
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關(guān)鍵詞:FRAM
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